| 检测信息 | 检测能力 | |
| 常规表面定性定量分析 | 定性定量分析固体样品表面的主要成分； | 信息深度：<10nm |
| 分析固体样品表面除氢和氦以外所有元素组成 ； | （Li~U） | |
| 定量分析所测得的元素的相对含量（原子百分比）； | 检出限：0.1-1% | |
| 多点分析，可同时对样品表面多个区域进行分析 | —— | |
| SEM成像分析 | SEM成像，表征样品表面形貌信息，高空间分辨率 | 成像空间分辨率<3nm |
| Mapping分析/Line分析 | 表征不同元素在分析区域的分布情况，从而判定成分分布的均匀性以及特定区域的成分组成等； | 采谱空间分辨率<8nm |
| 深度分析 | 深度剖析表征不同元素从表面到深度的纵向分布，可评价扩散、吸附、钝化的程度以及表征多层膜层结构等； | 深度分辨：纳米尺度 |
| 特殊分析项目 | *惰性气氛转移管，可保护电池、钙钛矿等样品避免空气和水分的影响； | —— |
| *原位液氮冷脆断装置，在真空腔室里进行原位的冷脆断，制备新鲜断面，避免样品暴露大气被氧化或吸附环境污染，用来研究金属合金材料，金相，或晶间晶界成分的分布以及研究金属断裂失效。 | —— | |
| *EBSD | —— |
