| 检测信息 | 检测能力 | |
| 常规表面定性定量分析 | 定性定量分析固体样品表面的主要成分； | 信息深度：<10nm |
分析固体样品表面除氢和氦以外所有元素组成 ； | （Li~U） | |
分析特征/特定元素对应的化学态（价态和化学键接）； | 能量分辨：≤0.5eV | |
定量分析所测得的元素和化学态的相对含量（原子百分比）； | 检出限：0.1% | |
微区分析，通过收集样品表面激发出来的二次电子得到SXI影像，与分析源同光路可保证精准定位，扫描式小束斑X射线可分析<7.5um区域内的元素组成信息 | X ray：≤7.5um | |
多点分析，可同时对样品表面多个区域进行分析 | —— | |
| Mapping分析/Line分析 | 表征不同元素和化学态在分析区域的分布情况，从而判定成分分布的均匀性以及特定区域的成分组成等； | 空间分辨：≤10µm |
| 深度分析 | 深度剖析表征不同成分（元素和化学态）从表面到深度的纵向分布，可评价扩散、吸附、钝化的程度以及表征多层膜层结构等； 多种离子枪配置，满足不同材料的深度分析需求（无机材料——单原子Ar枪/有机材料——Ar团簇离子枪（GCIB）/陶瓷和玻璃材料等——C60团簇离子枪） | 深度分辨：纳米尺度 |
| 特殊分析能力 | 大面积拼接成像分析，分析区域可达毫米级 | —— |
样品台原位加热与冷却 | 低温可达-140°C,高温可达600°C | |
双阳极X射线分析，可避免Ni/Mn/Co等元素与其俄歇谱峰的干扰 | —— | |
AES配件，可用于样品表面微区分析 | 空间分辨率：<100nm | |
惰性气氛转移装置，可保护电池、钙钛矿等样品避免空气和水分的影响； | —— |
| 检测信息 | 检测能力 | |
| 常规表面定性定量分析 | 定性定量分析固体样品表面的主要成分； | 信息深度：<10nm |
分析固体样品表面除氢和氦以外所有元素组成 ； | （Li~U） | |
分析特征/特定元素对应的化学态（价态和化学键接）； | 能量分辨：≤0.5eV | |
定量分析所测得的元素和化学态的相对含量（原子百分比）； | 检出限：0.1% | |
微区分析，通过收集样品表面激发出来的二次电子得到SXI影像，与分析源同光路可保证精准定位，扫描式小束斑X射线可分析<7.5um区域内的元素组成信息 | X ray：≤7.5um | |
多点分析，可同时对样品表面多个区域进行分析 | —— | |
| Mapping分析/Line分析 | 表征不同元素和化学态在分析区域的分布情况，从而判定成分分布的均匀性以及特定区域的成分组成等； | 空间分辨：≤10µm |
| 深度分析 | *深度剖析表征不同成分（元素和化学态）从表面到深度的纵向分布，可评价扩散、吸附、钝化的程度以及表征多层膜层结构等； *多种离子枪配置，满足不同材料的深度分析需求（无机材料——单原子Ar枪/有机材料——Ar团簇离子枪（GCIB）/陶瓷和玻璃材料等——C60团簇离子枪） | 深度分辨：纳米尺度 |
| 特殊分析能力 | 大面积拼接成像分析，分析区域可达毫米级 | —— |
样品台原位加热与冷却 | 低温可达-140°C,高温可达600°C | |
双阳极X射线分析，可避免Ni/Mn/Co等元素与其俄歇谱峰的干扰 | —— | |
AES配件，可用于样品表面微区分析 | 空间分辨率：<100nm | |
惰性气氛转移装置，可保护电池、钙钛矿等样品避免空气和水分的影响； | —— |
| 检测信息 | 检测能力 | |
| 常规表面分析 | 材料表面的价带谱，功函数、HOMO位置等（可清洁表面） | —— |
| 冷热UPS | 不同温度点下的样品表面，价带谱，功函数、HOMO位置等 | 低温可达-140°C,高温可达600°C |
| 检测信息 | 检测能力 | |
| 常规表面分析 | 材料表面的导带谱，电子亲和势、LUMO位置等（可清洁表面） | —— |
