| 检测信息 | 检测能力 | |
| 常规表面分析 | 定性分析固体样品表面的主要成分（元素、同位素、化学态、分子结构等）； | 信息深度：＜2nm |
| 元素范围：H~U | ||
| 成分检出限：ppb~ppm | ||
| 质量范围：1~12000 | ||
| 高质量分辨率： 无机材料的质量分辨率（m/∆m）：Si（28Si和29SiH）>12000 有机材料的质量分辨率（m/∆m）：PET（104u）>12000 | ||
| 表征不同元素和分子结构在分析区域的分布情况，从而判定成分分布的均匀性以及特定区域的成分组成等； | 空间分辨率：≤50nm | |
| 深度分析 | *深度剖析表征不同成分（元素和分子结构）从表面到深度的纵向分布，可评价扩散、掺杂、吸附、钝化的程度以及表征多层膜层结构等； | 深度分辨：纳米尺度 |
| *多种离子枪配置，满足不同材料的深度分析需求（无机材料——单原子Ar/Cs枪/有机材料——Ar团簇离子枪（GCIB）/陶瓷和玻璃材料等——C60团簇离子枪/） | ||
| *3D重构 | ||
| 特殊分析能力 | *惰性气氛转移装置，可保护电池、钙钛矿等样品避免空气和水分的影响； | —— |
| *FIB制样及测试 | —— | |
| *冷热样品台 | —— | |
| *MS/MS配件，适用于分析高分子材料，对于质量数接近的大分子离子，MS1谱图难以区分，MS2可对特定例子进行诱导碰撞接力生成特征离子碎片，进一步推断大分子结构； | —— | |
| *可半定量分析所测得的元素以及分子结构的相对含量（需要标准样品）； | 成分检出限：ppb~ppm |
